原创力文档- 1、本文档共8页，其中可免费阅读7页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种晶圆加工历史数据的存储和查询方法、制程控制系统，包括设备自动化系统将生产执行系统提供的制造工艺数据与产品制造设备传递工艺数据和设备数据进行整合成生产数据，并对每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统，将所述标识符上传至设定的制造系统。本发明在记录生产数据时，通过将每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，存储所述标识符及所述标识符对应的生产数据至一中间系统后还将标识符上传至设定的制造系统，即通过标识符将所有制造系统的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112818180 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011619843.1
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 广州粤芯半导体技术有限公司
文档评论（0）