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本发明公开了一种下降法晶体生长装置,包括机架、可升降的设于机架上的坩埚轴、固定的套设于坩埚轴上的载板、设于坩埚轴顶部的且位于载板上方的坩埚、设于载板上的且用于罩设坩埚的真空罩体、设于机架上的且间隔排列的环设于真空罩体外侧的加热器、设于机架上的且用于驱动坩埚轴升降的驱动机构;坩埚轴包括气路内腔、开设于坩埚轴上的且位于坩埚和载板之间的进气口、开设于坩埚轴上的且位于载板下方的抽气口;进气口和抽气口均与气路内腔连通。本发明一种下降法晶体生长装置,降低真空环境的获取难度,降低生产成本,真空稳定性较高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112795978 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202110093277.3
(22)申请日 2021.01.25
(71)申请人 延安星特亮科创有限公司
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