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2023-06-07 发布于四川
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一种下降法晶体生长装置.pdf

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本发明公开了一种下降法晶体生长装置，包括机架、可升降的设于机架上的坩埚轴、固定的套设于坩埚轴上的载板、设于坩埚轴顶部的且位于载板上方的坩埚、设于载板上的且用于罩设坩埚的真空罩体、设于机架上的且间隔排列的环设于真空罩体外侧的加热器、设于机架上的且用于驱动坩埚轴升降的驱动机构；坩埚轴包括气路内腔、开设于坩埚轴上的且位于坩埚和载板之间的进气口、开设于坩埚轴上的且位于载板下方的抽气口；进气口和抽气口均与气路内腔连通。本发明一种下降法晶体生长装置，降低真空环境的获取难度，降低生产成本，真空稳定性较高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112795978 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110093277.3 (22)申请日 2021.01.25 (71)申请人延安星特亮科创有限公司

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