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本发明公开了一种紧凑型固体高次谐波产生和谐波谱探测装置及其方法。本发明采用全反射结构增强高阶谐波探测效率，减少信号损耗，扩展了谐波探测波段，有效抑制了环境散射光、基频光、材料荧光和强低阶谐波等的散射，增强谐波探测效率的同时一定程度上加强了对灵敏探测器的保护；在密闭真空管道内以真空环境中运行，有效降低了空气对谐波信号的吸收和干扰，在相当范围的中红外波段，空气都将能产生较强的三阶乃至更高阶次谐波，同时避免了环境中的光对探测的影响；本发明通过改变激光入射谐波产生腔的位置和五维位移台的角度，能实现透射谐
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112834039 B
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202110022257.7 (56)对比文件
(22)申请日 2021.01.08
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