一种直拉法生产单晶中收尾阶段单晶收放趋势的判断方法.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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一种直拉法生产单晶中收尾阶段单晶收放趋势的判断方法.pdf

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本发明公开了一种直拉硅单晶收尾阶段单晶收放趋势的判断方法，包括以下步骤：(1)按照所生产单晶直径的1‑1.3倍预算出收尾长度，结合勾股定理算出收尾的两个角度为63°和69°，根据两个角度分别计算不同长度段内的重量随长度变化斜率，绘制出理论重量随长度变化曲线图；(2)通过单晶炉客户端获得收尾部分任意位置A和重量B；通过单晶炉客户端获得收尾部分位置A下的位置C和重量D；计算位置A到位置C的重量随着长度的变化斜率α＝(D‑B)/(C‑A)；(3)将理论重量随长度变化曲线图划分成提高拉速区、拉速维持区、

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112831829 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011609839.7 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人有研半导体材料有限公司

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