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本发明提供一种芯片封装结构及其封装方法,芯片封装结构包括:芯片;微喷模组,所述微喷模组包括:微喷腔,所述微喷腔具有腔底板,所述腔底板中具有开口,所述开口周围的腔底板通过密封件与所述芯片的背面贴合,所述微喷腔中适于容纳冷却液介质,所述冷却液介质适于与所述开口底部的芯片的背面接触。因为腔底板中具有开口,所以微喷腔中流动的冷却液介质可以直接接触芯片的背面,芯片产生的热量被冷却液介质带走,提高了芯片的散热效率;开口周围的腔底板通过密封件与芯片的背面贴合,避免了冷却液介质直接从腔底板流出,提高了封装结构的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112802806 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202011613617.2
(22)申请日 2020.12.30
(71)申请人 华进
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