ZYGO干涉仪使用说明2.pdfVIP

经典 word 整理文档，仅参考，转 Word 此处可删除页眉页脚。 1 目的 为了使员工正确熟悉的使用 ZYGO 干涉仪。本文详细说明了如何使用 ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。 2 范围 本文件涉与用 ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。 3 录取数据 在检验 程中将会生成以下记录 ： 3.1 干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击 FILE-SAVE 保存。 3.2 测试数据（保存文件名为*.Dat），测试