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本发明提供一种半导体机台及检测方法，包括：液晶滤光片，以及电荷耦合器件传感器CCD，在入射光透过液晶滤光片照射待测晶圆时，液晶滤光片用于调整照射待测晶圆的入射光的强度，以使经过待测晶圆反射后进入CCD的光强小于或等于CC的阈值。由于液晶滤光片中的液晶分子是一种介于完全规则的液晶体和各向同性液体之间的中间态物质，排列方式容易发生偏转和位移，液晶分子排列方式的改变使得透过液晶滤光片的入射光线被遮挡或通过，从而通过液晶滤光片达到稳定控制入射至待测晶圆上的光强的作用，提高量检测质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112798614 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202011565288.9
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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