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本发明公开了一种多弧离子镀膜过程中减少大液滴的方法,涉及多弧离子镀技术领域,包括超声波清洗,其特征在于:所述把被镀工件放入超声波清洗池中超洗去油去污渍,所述工件放入烘干机中烘干去除水分,所述工件放入多弧离子镀膜机中离子清洗,所述工件放入检测中心,所述工件由油污检测模块和湿度检测模块进行检测。该多弧离子镀膜过程中减少大液滴的方法,能够通过将被镀工件放入超声波清洗池中超洗去油去污渍,再将工件工件放入烘干机中烘干去除水分,最后将工件放入多弧离子镀膜机中离子清洗,镀层时需要充入的氮气为800SCCM,充
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112813389 A
(43)申请公布日
2021.05.18
(21)申请号 20191
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