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一种晶片边缘抛光装置和抛光方法.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种晶片边缘抛光装置和抛光方法.pdf

    本发明属于晶片抛光设备领域，具体涉及一种晶片边缘抛光装置和抛光方法。包括晶片固定翻转组件，晶片固定翻转组件包括推进直线模组和机座，从动支撑座设于机座旁侧，从动支撑座上也设有能摆动的支撑臂，支撑臂与摆臂分设于晶片旋转组件两侧用于支撑晶片旋转组件；晶片设于晶片旋转组件上；抛头驱动组件包括基座，直线轴承安装板安装在基座上，直线轴承安装板上设有多个直线轴承，每个直线轴承内设有一根导向轴，导向轴的上端与上连接板固定，下端与下安装板固定；抛头组件通过轴设于下安装板下方。本发明防止了抛光液的到处飞溅，而且大大

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112872960 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 202110148553.1 B24B 47/12 (2006.01)

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