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MEMS微反射镜设备和电气装置.pdfVIP

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    一种基于MEMS微反射镜设备和电气装置，本发明涉及一种MEMS微反射镜设备和电气装置，包括：MEMS微反射镜设备模块和电气装置模块，其中，MEMS微反射镜设备模块包括MEME微镜组，单体，悬置膜，电气装置模块包括图像投影模块和图像捕捉模块。与现有技术相比本发明采用绝缘区域可以有效的隔离支撑框架与周围支撑区域，使用MEMS微发射镜，可以实现最小体积、最低功耗，工艺相对简单，可靠性和成品率高，有效的降低了所述装置的成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112859324 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110022614.X (22)申请日 2021.01.08 (71)申请人 东莞理工学院 地址

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