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本发明属于芯片制造的技术领域，具体涉及一种微型LED显示芯片制作方法，包括在所需的外延片的表面制作P欧姆接触电极，刻蚀形成P发光区并裸露出N型区外延，在裸露的N型区表面制作n型欧姆接触电极，使外延片形成行与行的电性隔离，制作电极柱，在外延片的表面平整涂布液态的环氧树脂，使电极柱稳定地固化在环氧树脂层，在研磨后的环氧树脂层的表面沉淀金属，并利用光刻技术形成所需的电路通路，制作芯片成品。本发明的制作方法能够获得具有多个发光单元的电性稳定的微型LED显示芯片，其不仅加工效率高，还有效地克服了发光单元之
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112885932 A
(43)申请公布日 2021.06.01
(21)申请号 202110071026.5 H01L 33/62 (2010.01)
(22)申请日 2
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