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本发明公开了一种用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，包括骨架结构、双臂结构和驱动结构；双臂结构包括结构相同的两组运动结构，运动结构分别相对设置并安装在骨架结构两侧；驱动结构分别位于双臂结构两侧，驱动双臂结构在水平方向往复运动。通过采用带传动结构，把滑动连接块运动路径上的空隙遮蔽起来，减少了结构内部与外部环境的空气对流，确保结构内部的颗粒和粉尘不会逸散到外部空间中去，从而达到高等级超净环境中安装使用的要求；主动轮支架与主动轮转动连接，对主动轮起到辅助支撑的作用，提高主动轮转动时的稳定性；通过调整
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112828867 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202110217024.2
(22)申请日 2021.02.26
(71)申请人 昀智科技（北京）有限责任公司
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