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本发明涉及一种微孔膜半自动对正系统及其操作方法，系统包括底片吸附固定机构，与底片吸附固定机构侧面连接的进气结构以及出气结构，底片吸附固定机构位于曝光机的曝光区，底片吸附固定机构包括相互对置的上曝光框架、下曝光框架，与上曝光框架底部连通的上负压导气管以及与下曝光框架底部连通的下负压导气管，上负压导气管和下负压导气管均连接气体高速导流管，气体高速导流管的一端连接所述进气结构，另一端连接出气结构。将掩膜版放在负压区时，在外界压强的作用下，掩膜版被吸附固定在上曝光框架和下曝光框架的表面，在更换需曝光的线
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112882349 A
(43)申请公布日 2021.06.01
(21)申请号 202011525235.4
(22)申请日 2020.12.22
(71)申请人 中国原子能科学研究院
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