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本发明提供一种旋转组合,所述旋转组合包括内轴,其中内轴是能够旋转的且包括内部通道,内部通道能够操作以将低温流体递送至台板。旋转组合可更包括:旋转组合轴,环绕内轴;以及密封组件,耦合至旋转组合轴。密封组件可包括:支撑件;金属波纹管,围绕支撑件的外部延伸;以及密封支撑件,耦合至金属波纹管,其中密封支撑件围绕支撑件延伸。密封组件可更包括:非旋转密封部件,安置于密封支撑件中;以及旋转密封部件,邻接非旋转密封部件以在其间形成机械密封件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112867884 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 201980064711.6 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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