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本发明提供一种功率器件封装结构及其制造方法、电子装置。封装结构包括:包括基板电路层的基板;基板一侧的中间绝缘介质层,中间绝缘介质层开设有贯穿中间绝缘介质层的腔体和通孔;腔体内设置有功率芯片,功率芯片朝向基板一侧设置有底电极,底电极电性连接基板电路层;围成通孔的中间绝缘介质层内侧壁表面覆盖有内层金属互联层,内层金属互联层还延伸至中间绝缘介质层上朝向基板一侧表面和中间绝缘介质层上背向基板一侧表面,内层金属互联层电性连接基板电路层;外层金属互联层,外层金属互联层位于中间绝缘介质层背向基板一侧,功率芯片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864139 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202011626864.6 H01L 23/467 (2006.01)
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