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一种直拉单晶中掉棒的保护设备.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种直拉单晶中掉棒的保护设备.pdf

    本发明公开一种直拉单晶中掉棒的保护设备，包括导轨、抱爪和重量检测器，导轨用于设置在单晶炉副室内壁上，抱爪与导轨滑动连接，抱爪用于夹紧晶棒，重量检测器用于检测晶棒重量。本申请公开的直拉单晶中掉棒的保护设备，正常状态下，抱爪隐藏在副室阀仓内，不阻挡正常的晶棒拉制，重量检测器则实时检测拉出的晶棒的重量，当重量检测器检测到晶棒的重量变化值与预设值误差大于10kg时，抱爪迅速打开，并夹住掉落的晶棒，抱爪夹住掉落的晶棒后上升，沿着导轨上升至指定位置，使掉落的晶棒脱离坩埚中硅溶液液面，停炉处理，避免掉落的晶棒

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853484 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011638121.0 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 四川晶科能源有限公司

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