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中红外集成双通道滤光片的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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中红外集成双通道滤光片的制备方法.pdf

    本发明为一种中红外集成双通道滤光片的制备方法，其克服了现有技术中光谱仪微型化程度得不到保证以及不能实现任意光谱或者大范围光谱分光的问题，本发明能够完成任意光谱或大范围光谱的分光，微型化与集成化程度更高。本发明包括以下步骤：S1、基片清洗后，先在基片背表面镀制3‑5μm中红外增透膜；S2、在基片前表面进行第一次光刻构图；S3、沉积第一通道滤光片薄膜；S4、通过剥离工艺将光刻胶及胶上薄膜去除，得到单通道滤光片；S5、在基片前表面进行第二次对准光刻；S6、沉积第二通道滤光片薄膜；S7、进行第二次剥离工

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112859225 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202110029036.2 G03F 7/00 (2006.01) (22)申请日 2021.01.

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