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液态化学品检测装置和包含其的基板处理装置.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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液态化学品检测装置和包含其的基板处理装置.pdf

    本发明的液态化学品检测装置包括：基座部，形成有供液态化学品流入的入口；流道部，包括：第一区域部，与基座部的入口相邻布置，且由入口流入的液态化学品在第一区域部中以改变的流体速度移动；以及第二区域部，与第一区域部串联连通，且从第一区域部排出的液态化学品在第二区域部中移动；感测部，包括：第一感测部件，感测作为第一区域部的电信号的第一信号；以及第二感测部件，感测作为第二区域部的电信号的第二信号；以及辨别部，接收来自感测部的信号，当第一信号和第二信号的电流相对于参考值变化时，判断为感测到颗粒和气泡，并根据

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116223565 A (43)申请公布日 2023.06.06 (21)申请号 202211409287.4 B08B 3/02 (2006.01)

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