表面处理液和含镍材料的表面处理方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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表面处理液和含镍材料的表面处理方法.pdf

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提供在蚀刻含镍材料时的污物形成受到抑制、能够提高抗蚀图案与含镍材料的密合性的含镍材料用的表面处理液；以及使用其的含镍材料的表面处理方法。一种用于对含镍材料的表面进行处理的表面处理液、以及具有使该表面处理液接触含镍材料的表面的工序的含镍材料的表面处理方法。表面处理液是水溶液，其含有：(A)铁离子0.05～5质量％；(B)无机酸0.5～20质量％；(C)选自由柠檬酸三铵、乳酸铵、甲酸铵、柠檬酸氢二铵、乙醇酸铵和苹果酸铵组成的组中的至少1种化合物1～20质量％；以及水。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112867811 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 201980068276.4 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事