基于模态重分布的MEMS谐振器及其调节方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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基于模态重分布的MEMS谐振器及其调节方法.pdf

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本公开提供了一种基于模态重分布的MEMS谐振器，包括：衬底；支撑结构，一端固定在所述衬底上；谐振单元，设有调整装置，所述谐振单元与支撑结构的另一端相连；电极，与所述谐振单元电连接，所述电极设置在所述谐振单元的侧面、上表面和/或下表面。本公开针对无线通信系统的不同应用需求，其结构可灵活设置，进而实现了对其性能的优化，有效摆脱了现有光刻精度工艺水平的限制，该MEMS谐振器具备尺寸小、易加工、节省空间等优势，有利于实现集成化、微型化，推动MEMS谐振器在智能传感领域的高端应用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112865740 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011642670.5 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人中国科学院半导体研究所

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