电子级三氟化氯的纯化系统及其温差动力控制方法.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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电子级三氟化氯的纯化系统及其温差动力控制方法.pdf

本发明提供了一种电子级三氟化氯的纯化系统及温差动力控制方法。所述纯化系统包括:顺序连接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升温罐体、哈氏合金耐压升温罐体、3级金属吸附剂层床、2级低温精馏装置、液化罐体以及稳压罐体;其中,所述第一哈氏合金冷凝器的进料端设置于其顶端且与反应器相连通,所述第一哈氏合金冷凝器的出料端设置于其底端且与所述第一哈氏合金升温罐体的进料端连接;所述第一哈氏合金冷凝器用于将所述反应器产生的三氟化氯粗产品进行冷凝,从而通过温度差来给所述反应器出口气体提供动力。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112875648 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 202110143579.7 (22)申请日 2021.02.02 (71)申请人 福建德尔科技有限公司

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