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本发明涉及真空开关技术领域,具体为一种真空开关的真空度检测方法,包括以下步骤:步骤一:消除外部干扰;步骤二:发射激光产生并提取能够反映真空度的特征光谱信号的等离子体;步骤三:测量激光诱导产生等离子体的光谱信号来判断真空状态。本发明提出了基于LIBS技术的真空度在线检测方法,通过研究真空开关真空度与等离子体光谱信号的关系,得到真空度对特征信号影响的基本规律,LIBS技术弥补了传统分析方法的不足,其具有对材料损伤非常小(常用于宝石和文物检测)、无需样品准备、系统操作简单、能够实现便携式等优点同时促进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116223478 A
(43)申请公布日 2023.06.06
(21)申请号 202211332150.3
(22)申请日 2022.10.28
(71)申请人 广西电网有限责任公司电力科学研
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