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本发明提供了一种气浮垂向运动装置，包括托盘、电机、气浮轴以及套设于气浮轴的气浮套，气浮轴连接于托盘，气浮轴与气浮套形成气浮导轨，电机设置于气浮轴内，电机的输出端连接于气浮轴，电机驱动气浮轴带动托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。气浮轴的外壁与气浮套的内壁之间的间隙配合形成一层稳定的气膜，从而形成了气浮导轨，气浮导轨对气浮轴垂向运动起到导向作用。本发明的电机设置在气浮轴内，结构紧凑，减小了整个装置的结构，减小了装置占用空间的大小。再将电机的输出端连接于气浮轴，通过电机驱动气浮轴使气浮轴和托盘沿气浮导轨的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112847285 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110262175.X
(22)申请日 2021.03.10
(71)申请人 上海隐冠半导体技术有限公司
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