激光加工设备、其操作方法及使用其加工工件的方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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激光加工设备、其操作方法及使用其加工工件的方法.pdf

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本发明揭示了众多具体实例。在一个具体实例中，一种激光加工设备包括配置于光束路径内的定位器，激光能量光束可沿该光束路径传播。控制器可用以控制该定位器的操作以使该光束路径在第一主要角范围及第二主要角范围内偏转，且使该光束路径偏转至该第一主要角范围及该第二主要角范围中的每一者内的多个角度。在另一具体实例中，一种整合式光束截止器系统包括：框架；及耦接至该框架的检拾器镜面及光束截止器。在又一具体实例中，一种波前校正光学件包括具有反射表面的镜面，该反射表面具有特征在于条纹任尼克项Z4及Z9的特定比率的形状。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112867578 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202080005766.2 (72)发明人詹姆斯 ·布鲁克伊塞　

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