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清洁用的制程制作方法和清洁方法.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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清洁用的制程制作方法和清洁方法.pdf

    本发明提供一种清洁用的制程制作方法和清洁方法，用于高效地将附着于腔室内的沉积物去除。清洁用的制程制作方法包括蚀刻工序、测定工序以及制作工序。在蚀刻工序中，按预先决定的多个温度和多个压力的每个组合，使用被供给至腔室内的清洁气体对层叠在被搬入腔室内的试验基板上的金属化合物进行蚀刻。在测定工序中，按温度和压力的每个组合来测定金属化合物的蚀刻速率。在制作工序中，基于按温度和压力的每个组合测定出的金属化合物的蚀刻速率，来制作包括使蚀刻速率成为预先决定的蚀刻速率以上的温度和压力的组合的清洁用的制程。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112863988 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011311083.8 (22)申请日 2020.11.20 (30)优先权数据 2019-2156

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