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抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法.pdf

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    一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，含有：对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)；与离子液体(Z)，所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为25质量％以上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112882341 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 202011348383.3 G03F 7/30 (2006.01) (22)申请日 20

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