铝腐蚀的处理方法及系统.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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铝腐蚀的处理方法及系统.pdf

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本发明公开了一种铝腐蚀的处理方法及系统，所述处理方法包括：S1.判断被处理对象上金属铝所在的目标表面是否发生铝腐蚀，若是，则执行步骤S2；S2.将目标表面浸入酸性腐蚀液中，使酸性腐蚀液与金属铝发生各向同性反应，以去除金属铝上生成的腐蚀物。本发明通过图像比对和/或荧光分析能够自动、及时且准确地确定硅片上金属铝所在表面是否发生铝腐蚀的情况，即在铝腐蚀初期就可以发现腐蚀现象，进而将发生铝腐蚀的硅片浸入酸性腐蚀液中进行腐蚀处理，快速地去除掉铝和卤族元素的混合物，即通过简单有效的湿法处理，防止金属铝被进一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864034 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 20191