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一种用于芯片生产的检测设备.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种用于芯片生产的检测设备.pdf

    本发明涉及一种用于芯片生产的检测设备，包括主体、工作台和检测装置，还包括除尘机构和控温机构，所述除尘机构包括电机、转台、气囊、固定齿轮、两个动力组件和若干第一弹簧，所述控温机构包括摩擦环和两个控温组件，该用于芯片生产的检测设备通过除尘机构，实现了芯片除尘的功能，防止灰尘粘附在芯片上而影响芯片的检测精度，从而提高了设备的可靠性，通过控温机构，实现了控温的功能，使得主体内部不会处于低温的状态，避免主体内部温度过低而影响芯片的品质，从而提高了设备的可靠性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112881894 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 202110153173.7 (22)申请日 2021.02.04 (71)申请人 肇庆市小凡人科技有限公司

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