一种异质结薄膜晶体管及日盲紫外光电探测器.pdfVIP

一种异质结薄膜晶体管及日盲紫外光电探测器.pdf

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一种异质结薄膜晶体管及日盲紫外光电探测器,其中采用异质结薄膜感光层作为沟道层,所述异质结薄膜感光层由两层不同带隙及费米能级的薄膜叠层构成,在两层薄膜的结界面处呈现能带弯曲。将两层薄膜命名为第一薄膜和第二薄膜,所述第一薄膜为带隙大于4.0eV的半导体薄膜,所述第二薄膜为带隙小于4.0eV的半导体薄膜。本发明具有较高的迁移率和电导率,从而实现迁移率和电导率控制,同时该异质结薄膜晶体管还能增强光电流,而且光响应度、光暗电流比和检测率均高。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116230803 A (43)申请公布日 2023.06.06 (21)申请号 202310015208.X (22)申请日 2023.01.04 (71)申请人 华南理工大学 地址 510000

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