1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

MEMS微镜、迈克尔逊干涉系统及光学系统.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.58万字
  • 约 13页
  • 2023-06-08 发布于四川
  • 举报

MEMS微镜、迈克尔逊干涉系统及光学系统.pdf

    公开了一种MEMS微镜、迈克尔逊干涉系统及光学系统，该MEMS微镜包括：衬底以及镜面结构，镜面位于所述衬底的一侧，且其第一表面与衬底的第一表面之间形成空隙，其中，光源发出的入射光线照射在衬底的第二表面上，第一部分入射光线经由衬底的第二表面反射形成第一反射光，第二部分入射光线经由镜面结构的第一表面反射形成第二反射光，第一反射光和第二反射光耦合形成第一干涉光。该干涉系统基于MEMS芯片表面反射与其衬底表面反射的特性，利用MEMS微镜中不运动衬底反射的光线与运动的镜面结构反射的光线耦合后形成干涉光路，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112859325 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202110030650.0 G01J 3/45 (2006.01) (22)申请日 2021.01.

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >