一种通用型光刻设备及光刻工艺.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种通用型光刻设备及光刻工艺.pdf

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本发明公开了一种通用型光刻设备及光刻工艺，包括点光源、图形发生器、基底、自运动平台和控制系统，图形发生器转动设置，包括固定连接的第一成形板和第二成形板，第一成形板上沿以旋转轴为圆心的圆周设置有若干第一通孔，第二成形板设置有若干第二通孔，第一通孔与第二通孔之间通过光传输线相连，点光源对应其中一个第一通孔设置，点光源产生的光束通过光传输线穿过第一通孔和第二通孔，并在自运动平台承载的基底上形成切割光点，控制系统控制点光源及图形发生器的运行，使得切割光点在基底上形成切割线条。本发明利用图形发生器能够产生

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112882354 B (45)授权公告日 2022.06.21 (21)申请号 202110121109.0 (56)对比文件 (22)申请日 2021.01.28