一种采用电化学法预处理单晶硅片表面的制绒方法.pdfVIP

一种采用电化学法预处理单晶硅片表面的制绒方法.pdf

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一种采用电化学法预处理单晶硅片表面的制绒方法,将去损伤层后的单晶硅片浸渍于电解液溶液中,以单晶硅片为阳极,石墨或不锈钢为阴极,在阳极硅片和阴极之间加直流电压,阳极硅片为电压正极,对电极的阴极为电压负极,对硅片表面进行电化学预处理,然后将单晶硅片放入制绒液中进行制绒,得到金字塔结构的绒面。本发明可以使硅片绒面金字塔生长时间缩短,金字塔大小分布更加均匀,从而得到均匀细密的优质绒面。本发明采用低压电解方法,工艺投资低,能耗小,符合现阶段光伏发电高效低成本化的要求。本发明采用低压电解方法,反应条件温和,

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112899789 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202110071420.9 C25D 11/32 (2006.01)

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