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一种电阻测试结构及电阻测试方法.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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一种电阻测试结构及电阻测试方法.pdf

    本发明公开了一种电阻测试结构及电阻测试方法。所述电阻测试结构包括：多个第一测试模块；每一所述第一测试模块包括：形成于同一半导体器件有源区之上的两个间隔设置的第一接触结构和第二接触结构；相邻两所述第一测试模块中一第一测试模块的第一接触结构与另一第一测试模块的第二接触结构之间相邻且电连接，从而多个所述第一测试模块形成第一串联结构，所述第一串联结构的两端分别电连接一第一测试焊垫；其中，通过在所述第一串联结构两端的所述第一测试焊垫上施加测试电压并测量输出电流，实现对所述第一测试模块相应接触电阻的测试与监

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115714122 A (43)申请公布日 2023.02.24 (21)申请号 202211510476.0 (22)申请日 2022.11.29 (71)申请人 上海积塔半导体有限公司 地址 20

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