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本发明公开了一种可调节式石英研磨装置，包括机身、机械臂、安装在机身上的驱动装置，驱动装置与研磨盘相连，机械臂滑动安装在机身的支撑架上，支撑架上设有喷淋管，机械臂包括滑座、立杆、压力杆，滑座在支撑架上滑动一定距离后用锁紧装置固定，立杆上设有压力调节旋钮，立杆内部设有压力调节机构和螺纹连接部，压力调节机构包括丝杆、齿轮，所述压力调节旋钮与齿轮相连，丝杆与螺纹连接部螺纹连接，丝杆底部设有压力传感器，所述压力杆上端插入立杆内且可在立杆内部上下滑动，压力杆上端和压力传感器之间设有弹簧，压力杆下端安装有夹爪
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112894608 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110093710.3
(22)申请日 2021.01.22
(71)申请人 宁波云德半导体材料有限公司
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