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一种基板供给系统(1)，其从将多个基板(W)以按照规定的间隔层叠的状态进行收容的盒(10)中将基板(W)向搬运路线供给，该基板供给系统具备：第一收纳部(101)，其对第一盒(10)以能够装卸的方式进行收纳；第二收纳部(102)，其对第二盒(20)以能够装卸的方式进行收纳；抽出机构(200)，其将基板(W)从第一盒(10)及第二盒(20)朝向与基板的层叠方向垂直的方向抽出并向搬运路线移交；以及移动机构(300)，其使抽出机构(200)在第一收纳部(101)与第二收纳部(102)之间移动。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112912998 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 201980036023.9 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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