一种直接测量微纳材料热电优值的探测器及制备工艺.pdfVIP

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2023-06-09 发布于四川
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一种直接测量微纳材料热电优值的探测器及制备工艺.pdf

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本发明公开了一种直接测量微纳材料热电优值的探测器及制备工艺,采用光刻‑套刻‑刻蚀结合工艺制备双H型悬空微纳电极作为样品测量探头，消除电极与衬底间的导热热损影响。将样品转移或者旋涂到电极上之后，采用FIB或者导电导热胶与电极固定连接，消除接触电阻与接触热阻的影响。之后便可将样品与电极放置与高真空恒温舱内，连接外部测量电路进行测量，该电极可一次性精确测量同一个样品的ZT、电导率、热导率及塞贝克系数以及热扩散率等热电参数。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112909155 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110072849.X (22)申请日 2021.01.20 (71)申请人中国科学院工程热物理研究所