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本发明属于光电位移精密测量技术领域，涉及一种绝对光栅尺，包括标度尺、在标度尺尺身上方，与尺身延伸方向平行且与尺身的编码标线面垂直的滑动导轨、安装于滑动导轨上，能够沿滑动导轨进行直线移动的读数头。通过M条编码标线中任意N条相邻的编码标线所代表的数值组成一组编码值，获取相应编码值的译码值C，利用读数头采集的图像计算获取细分数值S，将细分数值S与译码值C结合，得到线位移测量数值。本发明采用线阵图像传感器实现位移的识别和细分，能够较传统技术实现更高的分辨力和测量精度；采用全数字化运算图像识别系统，具有更
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112880571 A
(43)申请公布日 2021.06.01
(21)申请号 202110290002.9
(22)申请日 2021.03.18
(71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物
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