晶圆多方向测试装置.pdfVIP

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2023-06-09 发布于四川
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晶圆多方向测试装置.pdf

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本发明提供了一种晶圆多方向测试装置，包括探针机、测试机和驱动电机，探针机包括环形承载台和探针卡，所述环形承载台上设置有至少两个对准柱，所述探针卡呈环形，包括设置在所述探针卡的内环边缘上的探针及配合所述对准柱的对准孔，所述探针穿过所述环形承载台的内环接触晶圆；测试机包括可旋转的测试头，所述测试头设置在所述探针卡的上方，包括连接板及设置在所述连接板上靠近探针卡一面的对准槽，所述对准柱穿过所述对准孔后插入所述对准槽，以实现所述环形承载台、所述探针卡和所述连接板的一体化；驱动电机连接探针机和测试机，驱动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112908880 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110093927.4 (22)申请日 2021.01.22 (71)申请人广州粤芯半导体技术有限公司