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- 2023-06-09 发布于四川
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本发明公开了一种手机保护膜平整度检测装置,包括:激光器、分光镜、第一平面镜、第二平面镜以及CCD成像系统,该装置基于迈克尔逊干涉仪的原理,检测手机保护膜平整度,即CCD成像系统获得的干涉条纹呈标准的圆形,所述待检测的手机膜平整;干涉条纹呈非标准圆形,待检测的手机膜不平整。本发明提供的装置检测精度超过40nm,远超目前的检测精度标准。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112902882 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110313433.2
(22)申请日 2021.03.24
(71)申请人 广东海洋大学
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