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本发明提出一种基于差动共焦探测具有抗噪能力的高精度自动对焦方法及装置,该方法包括:产生对焦光束,经由凹透镜和电控变焦透镜组成的透镜组,与光学系统工作光束合束;对焦光束经对焦对象中的对焦平面反射,由原光路返回,再由分束镜反射入差分共焦探测机构进行光强测量;在测量过程中,对电控变焦透镜偏置高频周期性变化信号,将差分共焦探测机构测量到的静态差分信号转换为具有抗噪性能的动态差动信号;根据差动信号变化,产生反馈调整信号,自动补偿离焦量,实现自动对焦。本发明将静态光强信号差分共焦探测转化为动态光强信号差动共
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112904526 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202110082908.1 G02B 7/40 (2021.01)
(22)申请日 2021.01.
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