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- 2023-06-09 发布于四川
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本发明公开了一种有冗余功能的MEMS加速度计检测模块及其制作方法，其中，该模块包括电路板、四个定位孔、金属底座、四个定位柱、三个固定块、垫片、MEMS芯片、ASIC芯片、电源管理芯片和盖板；其中，金属底座的四个角上分别设置有定位柱；电路板的四个角上开设有与每个定位柱相对应的定位孔，电路板通过定位孔套设于每个定位孔相对应的定位柱；电路板的一个对角线上设置有三个固定块；每个固定块的上表面设置有垫片，垫片的上表面设置有MEMS芯片，MEMS芯片的上表面设置有ASIC芯片；电源管理芯片设置在电路板上；盖
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113376403 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110518255.7
(22)申请日 2021.05.12
(71)申请人 北京航天控制仪器研究所
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