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一种平面构件平行度的测量方法和装置,包括运动系统、测量系统、控制系统、数据处理系统,测量系统安装在运动系统上,控制系统控制运动系统带动测量系统进行运动,数据处理系统实时收集测量系统测量的数据并进行数据处理。本发明主要结合平面构件厚度和平面度的测量方法,对平面构件两平面的平行度进行测量。该方法利用精密激光位移传感器获取工件厚度数据,利用平面度仪或精密激光位移传感器获取工件平面度数据,再对两组数据进行叠加,计算工件平行度。本发明计算精度、测量精度高,能够保证平行度的测量精度;适用范围广,可用于大尺寸
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112902880 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110087573.2
(22)申请日 2021.01.22
(71)申请人 大连理工大学
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