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样品承载结构及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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样品承载结构及方法.pdf

    一种样品承载结构，包括：样品载台，经设置以承载半导体工艺样品；以及样品支座，经设置以承载所述样品载台，其中:所述样品载台包括远离所述样品支座的表面以承载所述半导体工艺样品以及邻近所述样品支座的表面，而所述样品载台邻近所述样品支座的所述表面上设置有至少三个突出部；所述样品支座包括承载部、光学感测器以及压力感测器，其中:所述承载部用以承载所述样品载台的第一部的表面上设置有至少三个定位凹槽以分别容置所述样品载台的所述至少三个突出部，所述光学感测器设置于所述样品支座的第一部的一侧并邻近所述样品载台；以及

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112908815 B (45)授权公告日 2022.04.15 (21)申请号 202110301902.9 H01J 37/244 (2006.01) (22)申请日

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