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本发明涉及等离子体光源技术领域，尤其涉及一种激光维持用等离子体光源腔体，包括石英腔体、电极连接体、腔体内的填充气体；所述石英腔体包括封接区和球泡；所述封接区为与所述球泡的端部连通的管状体，所述球泡的内腔为电离腔；所述石英腔体中封装一个或多个用于等离子体触发的电极连接体，所述电极连接体包括导电柱、钼片、电极体，所述电极体的头端设置有电极头，所述电极头的头部呈锥形的尖端，所述电极体的尾端依次焊接钼片、导电柱，所述电极头位于球泡内部，所述钼片位于封接区的压封位置，所述导电柱位于石英腔体外部。可实现激光
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112885699 A
(43)申请公布日 2021.06.01
(21)申请号 202110323204.9
(22)申请日 2021.03.26
(71)申请人 常州市纽菲克光电制造有限公司
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