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对腐蚀进行测量的系统包括:被配置成连接至第一结构的第一电极;以及被配置成连接至第二结构的第二电极。第一结构和第二结构是以电化方式联接在一起的,并且第一结构和第二结构是由不同的材料制成的。将腔室配置成,在将第一电极、第一结构、第二电极以及第二结构定位在该腔室内部时,运行一个或更多个循环。将测量装置配置成,从第一电极和第二电极接收数据,并且至少部分地基于该数据,对一个或更多个参数进行测量。有关第一结构、第二结构或这两者的腐蚀水平被配置成是至少部分地基于所述一个或更多个参数来确定的。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112930474 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 201980068127.8 (51)Int.Cl.
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