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本发明提供一种改善图像传感器随机电报噪声和图像非均一性的方法，提供位于同一基底上的多个像素单元；相邻像素单元之间设有深沟槽；依次沉积高介电常数材料、抗反射层及二氧化硅以覆盖深沟槽的底部和侧壁，同时深沟槽两侧的所述像素单元的上表面形成有高介电常数材料、抗反射层以及二氧化硅；在深沟槽中填冲满钨，并且深沟槽两侧的像素单元的上表面的二氧化硅上形成有钨层；对深沟槽两侧的像素单元上的钨层进行化学机械研磨，研磨去除一部分钨，保留部分钨层；对剩余的部分钨层进行回刻至露出像素单元上的二氧化硅为止；对深沟槽顶部的钨
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112909037 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110115626.7
(22)申请日 2021.01.28
(71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
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