光刻用稀释剂废液的纯化再生方法.pdfVIP

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2023-06-09 发布于四川
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光刻用稀释剂废液的纯化再生方法.pdf

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本发明公开了光刻用稀释剂废液的纯化再生方法，属于液晶显示器薄膜晶体管和触摸屏行业废液回收利用技术领域。本发明解决的技术问题是现有光刻用稀释剂的回收利用成本高、环境污染大。本发明光刻用稀释剂废液的纯化再生方法，将稀释剂废液通过0.1um～10um膜初步过滤掉大颗粒杂质，然后依次通过孔径1‑10nm膜实施一级精滤，通过孔径

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112892041 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110097649.X (22)申请日 2021.01.25 (71)申请人绵阳艾萨斯电子材料有限公司