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本发明公开了一种膜‑基界面应力可调节的光纤F‑P探头，包括单模光纤(1)、光纤插芯(2)和敏感薄膜(3)，光纤插芯(2)的端面具有环状凹槽结构，作为敏感薄膜(3)的转移基底，凹槽结构为单环状、双环状或多环状结构，形状为方形、V型或正弦型，光纤插芯(2)为陶瓷插芯、具有相同结构的玻璃管、石英毛细管或基于MEMS工艺制作的F‑P腔体，敏感薄膜(3)包括硅膜、有机膜或2D薄膜，通过控制环状凹槽的深度与宽度及槽的形状和间距这些结构参数，可调节悬浮于凹槽之上的薄膜与插芯基底之间的吸附能，实现敏感薄膜(3)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112904491 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110080025.7
(22)申请日 2021.01.21
(71)申请人 北京航空航天大学
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