NOR型存储器件及其制造方法及包括存储器件的电子设备.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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NOR型存储器件及其制造方法及包括存储器件的电子设备.pdf

公开了一种NOR型存储器件及其制造方法及包括该NOR型存储器件的电子设备。根据实施例,该NOR型存储器件可以包括:叠置在衬底上的多个器件层,其中,每个器件层包括在竖直方向上处于相对两端的第一源/漏区和第二源/漏区以及在竖直方向上处于第一源/漏区与第二源/漏区之间的沟道区;以及相对于衬底竖直延伸以穿过各个器件层的栅堆叠,栅堆叠包括栅导体层和设置在栅导体层与器件层之间的存储功能层,在栅堆叠与器件层相交之处限定存储单元,其中,第一源/漏区和第二源/漏区中的掺杂浓度在竖直方向上朝向沟道区减小。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112909010 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110252926.X (22)申请日 2021.03.08 (71)申请人 中国

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