楔形平板产生的等厚干涉.pptVIP

三、楔形平板产生的等厚干涉 两个不平行平面的分振幅干涉，称为楔形平板的干涉。 （一）定域面及定域深度 楔形平板干涉条纹定域面的位置，也由;实际中，扩展光源并非无穷大，;（二）楔板产生的等厚条纹 从光源S中心发出经楔板上下表面反射的两支光交于定域面上某点P，这两支相干光在P点产生的光程差为;亮纹;α;干涉条纹分布的特点：;劈尖表面附近形成的是一系列与棱边平行的、明暗相间等距的直条纹。楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏；当用白光照射时，将看到由劈尖边缘逐渐分开的彩色直条纹。;三. 等厚条纹的应用; 测细小直径、厚度、微小变化;(1)检测待测平面的平整度;(2).测量微小物体的厚度;例如用波长为589.3nm的钠黄光垂直照射长 L=20mm 的空气劈尖，测得条纹间距为;(3). 测量微小角度.;(4) 测量微小位移;例 用等厚干涉法测细丝的直径d。取两块表面平整的玻璃板，左边棱迭合在一起，将待测细丝塞到右棱边间隙处，形成一空气劈尖。用波长?0的单色光垂直照射，得等厚干涉条纹，测得相邻明纹间距为?L，玻璃板长L0，求细丝的直径。; 例题 在检测某工件表面平整度时,在工件上放一标准平面玻璃,使其间形成一空气劈尖，并观察到弯曲的干涉条纹，如图所示。求纹路深度H。; 例题 波长?的光垂直入射折射率为n2的劈尖薄膜，n1 n2 ,n2 n3 ,如图所示 。在反射光中观察，从尖顶算起，第二条明纹对应的薄厚是多少？;［例］在半导体器件生产中，为测定硅片上的Si02薄膜厚度，将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状，如图。用钠黄光从空气中垂直照射到Si02表面上，在垂直方向上观察Si02劈尖膜的反射光干涉条纹，看到有七条暗纹，第七条恰位于N处，问薄膜的厚度？三、楔形平板产生的等厚干涉 两个不平行平面的分振幅干涉，称为楔形平板的干涉。 （一）定域面及定域深度 楔形平板干涉条纹定域面的位置，也由;实际中，扩展光源并非无穷大，;（二）楔板产生的等厚条纹 从光源S中心发出经楔板上下表面反射的两支光交于定域面上某点P，这两支相干光在P点产生的光程差为;亮纹;α;干涉条纹分布的特点：;劈尖表面附近形成的是一系列与棱边平行的、明暗相间等距的直条纹。楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏；当用白光照射时，将看到由劈尖边缘逐渐分开的彩色直条纹。;三. 等厚条纹的应用; 测细小直径、厚度、微小变化;(1)检测待测平面的平整度;(2).测量微小物体的厚度;例如用波长为589.3nm的钠黄光垂直照射长 L=20mm 的空气劈尖，测得条纹间距为;(3). 测量微小角度.;(4) 测量微小位移;例 用等厚干涉法测细丝的直径d。取两块表面平整的玻璃板，左边棱迭合在一起，将待测细丝塞到右棱边间隙处，形成一空气劈尖。用波长?0的单色光垂直照射，得等厚干涉条纹，测得相邻明纹间距为?L，玻璃板长L0，求细丝的直径。; 例题 在检测某工件表面平整度时,在工件上放一标准平面玻璃,使其间形成一空气劈尖，并观察到弯曲的干涉条纹，如图所示。求纹路深度H。; 例题 波长?的光垂直入射折射率为n2的劈尖薄膜，n1 n2 ,n2 n3 ,如图所示 。在反射光中观察，从尖顶算起，第二条明纹对应的薄厚是多少？;［例］在半导体器件生产中，为测定硅片上的Si02薄膜厚度，将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状，如图。用钠黄光从空气中垂直照射到Si02表面上，在垂直方向上观察Si02劈尖膜的反射光干涉条纹，看到有七条暗纹，第七条恰位于N处，问薄膜的厚度？